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锰钴镍铜氧薄膜红外探测器制备与性能研究

         

摘要

报道了锰钴镍铜氧薄膜(Mn1.56Co0.96-xNi0.48CuxO4,MCNC,x=0,0.08,0.16,0.24)的红外探测器件的制备过程及器件性能。通过改变掺杂Cu的比例,制作了系列MCNC薄膜材料及红外探测器件。实验结果表明,对于一定厚度及尺寸的薄膜器件,铜的掺入能显著减小器件的阻值及器件噪声,弥补了负温度系数的减小的缺点。器件时间常数约为20~40ms。掺铜量为0.24的薄膜器件的探测率为0.83×107cm·Hz1/2W-1,相比同样规格的锰钴镍器件提高了约130%。此外,对于MCNC薄膜器件的老化现象进行了初步探讨。

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