几种紫外薄膜材料的光学及损伤特性分析

张乾; 焦宏飞; 程鑫彬; 马彬; 季一勤

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几种紫外薄膜材料的光学及损伤特性分析

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为进一步改善大型固体激光器3倍频用薄膜的光学及损伤特性,利用不同的测试方法系统对比研究了电子束蒸发方式制备的几种紫外薄膜的光学常数、晶体结构、表面粗糙度以及弱吸收和其激光损伤特性间的相互关系。研究表明:薄膜的弱吸收和其禁带宽度共同制约了其激光损伤阈值,而薄膜因晶相结构的产生而增大的表面粗糙度对其激光损伤阈值无影响。大弱吸收的薄膜其损伤表现为非常微小的吸收点向外扩张构成的较大的破坏点,而低弱吸收的薄膜其损伤则表现为瞬间吸收引起大的损伤。

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来源
《红外与激光技术》 |2014年第4期|1230-1234|共5页
作者
张乾; 焦宏飞; 程鑫彬; 马彬; 季一勤;
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作者单位

1. 先进微结构材料教育部重点实验室同济大学 2. 精密光学工程技术研究所同济大学物理科学与工程学院 3. 天津市薄膜光学重点实验室天津津航物理技术研究所;

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正文语种 chi
中图分类 O484.41;
关键词
薄膜; 光学性能; 激光损伤; 355 nm;

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