不同衬底温度下射频磁控溅射磷掺杂ZnO薄膜的性质

著录项

• 来源
  《红外与激光技术》 |2011年第8期|1490-1494|共5页
• 作者

  王金忠; 李美成; Vincent Sallet; A.Rego; R.Martins; E.Fortunato;

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• 作者单位

  1. 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院光电信息材料与量子器件系 2. Material Science Department;

  FCT-UNL;

  Caparica 2829-516;

  Portugal 3. Groupe d′Etude de la Matière Condensée;

  CNRS-UVSQ;

  Meudon 92195;

  France 4. Centro de Química-Física Molecular;

  IST;

  Lisbon 1049-001;

  Portugal;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜技术;
• 关键词

  氧化锌; 掺杂; 光电子能谱; Hall测量;