利用相位恢复波前传感技术检测球面镜面形

马鑫雪; 王建立; 王斌

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利用相位恢复波前传感技术检测球面镜面形

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为了验证相位恢复波前传感器系统波前检测的能力,搭建了基于相位恢复测量方法的波前传感器检测球面镜面形的实验平台。该平台结构简单,抗震动,可以在对光路不进行任何改变的前提下,利用成像系统上已有的相机对整个光学系统进行在位检测。为了验证相位恢复波前传感器测量方法的准确性,将相位恢复波前传感器测量结果与ZYGO干涉仪测量结果进行比较,实验结果表明在面形误差分布及误差的峰谷值（PV）和方均根值（RMS）上,两者具有极大的相似性,所以利用相位恢复波前传感器技术能有效地检测出球面镜的面形误差。

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来源
《红外与激光技术》 |2014年第10期|3428-3433|共6页
作者
马鑫雪; 王建立; 王斌;
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作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;

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正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
相位恢复; 波前传感器; 球面镜面形; 泽尼克多项式; 像差;

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