355nm紫外激光器加工多层柔性线路板盲孔

张菲; 段军; 曾晓雁; 李祥友

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355nm紫外激光器加工多层柔性线路板盲孔

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采用输出功率10W的355nmNd:YVO4激光器对4层柔性线路板（FPC）进行了盲孔加工实验。重点研究和分析了不同加工方式、功率密度、扫描间距、开/关激光延时等参数对加工结果的影响。得到的优化工艺参数为:第一次采用加工功率3.9W、频率80kHz、扫描速度50mm/s、开/关激光延时20μs/110μs、扫描间距18μm,第二次将加工功率降到1.4W,其他参数不变,此时,加工盲孔的效果最为理想,重铸层粗糙度为0.88966μm,孔底粗糙度为1.063μm。给出了孔底表面的SEM图和针式台阶仪测量的盲孔底面三维轮廓和切面二维轮廓图。

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来源
《红外与激光技术》 |2010年第1期|143-146|共4页
作者
张菲; 段军; 曾晓雁; 李祥友;
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作者单位

华中科技大学武汉光电国家实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类激光器;
关键词
激光钻孔; 全固态激光器; 355nm; 多层柔性线路板; 盲孔;

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