云母表面不同厚度VO2薄膜的红外光学特性

颜家振; 黄婉霞; 张月; 何鹏; 李宁

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云母表面不同厚度VO2薄膜的红外光学特性

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以天然白云母的解理面为基底,采用无机溶胶-凝胶法在其表面制备不同厚度的VO2薄膜,并研究了厚度对VO2薄膜的微观结构和红外光学特性的影响。利用SEM、XRD等手段分析了薄膜的表面形貌和晶体结构,利用原位FTIR分析了VO2薄膜半导体-金属相变特性。结果表明,云母表面VO2薄膜室温下具有（011）择优生长取向,随着厚度增加,薄膜晶粒变大,表面致密。同时薄膜厚度直接影响到VO2薄膜相变前后的红外透过率和薄膜在半导体-金属相变过程中产生的透过率变化ΔTr,当厚度为120 nm时,薄膜具有最大的红外透过率变化为70.5%。随着薄膜厚度的增加,VO2薄膜晶粒增大导致热致相变过程中滞回温宽变小,相变过程更加陡然。

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来源
《红外与激光技术》 |2011年第7期|1305-1309|共5页
作者
颜家振; 黄婉霞; 张月; 何鹏; 李宁;
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作者单位

四川大学制造科学与工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 O484.41;
关键词
二氧化钒; 薄膜厚度; 热致相变; 红外光学性能;

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