探针扫描法快速测量半导体激光阵列Smile效应

贾冠男; 尧舜; 潘飞; 高祥宇; 王智勇

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探针扫描法快速测量半导体激光阵列Smile效应

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为克服传统光学方法测量半导体激光阵列（LDA）Smile效应时存在的光学系统搭建精度要求高、测试人员素质要求高、后期数据处理繁杂测量时间长等缺点,通过用机械接触式台阶仪的探针扫描焊接后LDA芯片N面的方式,快速测量LDA的Smile效应,并将之与传统光学方法测量的Smile效应进行对比。结果表明,两者形态完全一致,差别小于1μm。用台阶仪测量LDA Smile效应耗时小于1 min。此方法能为芯片焊接工艺优化Smile效应提供快速反馈,可方便集成在大批量生产流水线中对LDA的Smile效应进行实时监测。

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来源
《红外与激光技术》 |2015年第12期|3576-3579|共4页
作者
贾冠男; 尧舜; 潘飞; 高祥宇; 王智勇;
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作者单位

北京工业大学激光工程研究院;

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正文语种 chi
中图分类半导体激光器;
关键词
激光器; 半导体激光阵列; Smile效应; 光束质量;

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