波前分割DOE阵列半导体激光器光束的品字形整形

石振东; 李淼峰; 邱传凯; 姚军; 周崇喜

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波前分割DOE阵列半导体激光器光束的品字形整形

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半导体激光器（LD）输出光束受工作电流、个体差异的影响,发散角、输出光强出现波动。常规衍射光学元件（DOE）的激光光束整形设计只针对特定的输入输出光场,使用宽容度比较小。文中在LD的整形中利用DOE阵列化的处理,输入光场被分割成许多小单元,不同强度的光重新在成像平面内预定的区域内叠加,实现对光束的整形。用均匀平面波设计阵列DOE每个单元,把高斯分布的球面波整形成品字形光强分布,衍射效率为90.53%,均匀性大约为96%;发散角在快、慢轴方向上2°~16°的范围内变化,均匀性为95.8%以上、衍射效率为90%以上;在离焦量±16μm内,光束质量变化不大。阵列DOE提高了LD光束整形系统的稳定性。

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来源
《红外与激光技术》 |2013年第3期|616-620|共5页
作者
石振东; 李淼峰; 邱传凯; 姚军; 周崇喜;
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作者单位

1. 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 2. 中国科学院大学;

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正文语种 chi
中图分类半导体激光器;
关键词
阵列衍射光学元件; LD光束整形; 变发散角; 均匀性;

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