飞秒激光掩模版加工中的精度控制方法

王文君; 姜歌东; 梅雪松; 王恪典; 杨成娟; 丁明江

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飞秒激光掩模版加工和修复是近几年来微纳加工领域的研究热点之一,其中精度控制是获得高质量掩模版的关键。在飞秒激光脉冲对铬金属膜和石英基底材料破坏特性的理论基础上,利用一套输出脉宽25 fs、最大功率1 W、中心波长800 nm、重复频率1 kHz的飞秒脉冲激光系统,实验研究了掩模特征单元尺寸与激光能量密度、扫描速度的关系,通过参数优化实现了最小特征尺寸为290 nm的掩模版加工;探讨了特征单元的边缘形貌和底部形貌受能量密度与扫描次数的影响规律,提出了加工参数的选取原则,最终实现了飞秒激光掩模版加工的精度控制和优化。

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来源
《红外与激光技术》 |2010年第2期|320-324|共5页
作者
王文君; 姜歌东; 梅雪松; 王恪典; 杨成娟; 丁明江;
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作者单位

1. 西安交通大学机械工程学院 2. 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类激光的应用;
关键词
飞秒激光; 掩模版; 精度; 控制; 优化;

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