化学气相沉积硫化锌中六方相形成机制及抑制方法分析

付利刚; 霍承松; 张福昌; 魏乃光; 王学武; 吕反修

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化学气相沉积硫化锌中六方相形成机制及抑制方法分析

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六方相ZnS由于光学上的各相异性而在不同晶相上具有不同的折射指数。立方相化学气相沉积硫化锌（CVDZnS）中的六方杂相加大了对入射光线的散射,严重影响材料本身的光学性能。通过不同实验条件下的对比,对促成立方相形成的机制进行了探讨和分析,证实了六方相的形成主要受沉积温度、沉积压力、Zn/H2S 3个沉积参数的影响。有针对性地提出了综合利用适当提高沉积温度、Zn/H2S和降低沉积压力等方式来抑制六方相生成的方法,制备出不含六方杂相且各向同性的CVDZnS。样品的红外透过率在近红外及中红外波段得到了改善。

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来源
《红外与激光技术》 |2010年第6期|1100-1104|共5页
作者
付利刚; 霍承松; 张福昌; 魏乃光; 王学武; 吕反修;
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作者单位

1. 北京科技大学材料科学与工程学院 2. 北京有色金属研究总院北京国晶辉红外光学科技有限公司;

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正文语种 chi
中图分类电子对抗（干扰及抗干扰）;
关键词
形成机制; 抑制方法; 六方相ZnS; 立方相ZnS;

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