正、背照射日盲型肖特基探测器

储开慧; 许金通; 李向阳

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正、背照射日盲型肖特基探测器

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在金属有机化学汽相沉积（MOCVD）方法生长的i-Al0.45Ga0.55N/n-Al0.65Ga0.35N/AlN材料结构上,成功研制了零偏暗电流为10-13量级、峰值响应为0.02～0.03 AW-1的日盲型肖特基紫外探测器。对探测器正照射和背照射时的光谱特性的研究表明:正、背照射时器件的峰值响应大小变化不大;在短波方向,正照射时的器件由于界面层的存在,在峰值响应稍有回落后平滑响应,而背照射时的器件由于n层组分调制响应迅速下滑;在长波方向,正照射时器件在截止波长后的响应较大。

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来源
《红外与激光技术》 |2010年第6期|1085-1087|共3页
作者
储开慧; 许金通; 李向阳;
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作者单位

中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类紫外技术及仪器;
关键词
肖特基探测器; 日盲型; 响应光谱;

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