HgCdTe液相外延薄膜生长及缺陷表征

魏彦锋; 陈新强; 曹妩媚

首页> 中文期刊> 《红外与激光工程》 >HgCdTe液相外延薄膜生长及缺陷表征

HgCdTe液相外延薄膜生长及缺陷表征

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

液相外延是制备HgCdTe薄膜材料的一项成熟技术,大尺寸的外延薄膜是研制HgCdTe红外焦平面列阵的基础。探讨了尺寸为30mm×40mm的HgCdTe液相外延薄膜生长技术,用红外透射光谱和X光貌相技术对材料进行了评价。并对HgCdTe薄膜表面的黑点缺陷、波纹起伏等特征形貌进行了讨论,指出黑点缺陷是杂质粒子在薄膜表面形成的包裹体,而表面波纹是由生长母液中的对流引起的。

著录项

来源
《红外与激光工程》 |2006年第3期|294-296313|共3页
作者
魏彦锋; 陈新强; 曹妩媚;
展开▼
作者单位

中国科学院上海技术物理研究所;

中国科学院上海技术物理研究所;

中国科学院上海技术物理研究所上海200083;

上海200083;

上海200083;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
液相外延; 碲镉汞; 缺陷;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. CdZnTe中富碲沉积相缺陷引起的液相外延HgCdTe薄膜表面缺陷 [J] . 张阳 ,吴军 ,木胜 . 红外与毫米波学报 . 2018,第6期
2. HgCdTe液相外延薄膜表面缺陷的控制 [J] . 魏彦锋 ,徐庆庆 ,陈晓静 . 红外与毫米波学报 . 2009,第4期
3. 高质量HgCdTe薄膜的液相外延生长 [J] . 马庆华 ,陈建才 ,姬荣斌 . 红外技术 . 2005,第1期
4. HgCdTe薄膜的液相外延生长及低温热处理 [J] . 张中明 . 大自然探索 . 1998,第2期
5. HgCdTe液相外延薄膜与衬底之间组分过渡层研究 [J] . 毛旭峰 ,黄元竞 ,吴军 . 电子世界 . 2019,第2期
6. HgCdTe液相外延薄膜组分分布和内波的产生 [C] . 黄为民 ,王亚敏 ,魏彦锋 . 2006中国工程热物理学会多相流学术会议 . 2006
7. 钙钛矿MAPbBr3和黄铜矿ZnSiP2单晶薄膜的液相外延生长及光电性能研究 [A] . 张龙振 . 2021

HgCdTe液相外延薄膜生长及缺陷表征

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅