CO2激光雕刻机的折/衍混杂f-θ镜设计

吴环宝; 王肇圻; 傅汝廉; 刘娟; 乐丹

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CO2激光雕刻机的折/衍混杂f-θ镜设计

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以工作于CO2激光主波长的传统两片球面透镜型f-θ镜为基础,引入衍射面实现消色差,设计了工作于可调谐CO2激光的波段范围9.0￣11.0μm的f-θ镜。结果表明,所设计的折/衍混杂f-θ镜不仅很好地工作在所要求的波段范围内,而且单色像差比原单波长f-θ镜有所提高,像面上的光斑在各个波长和视场上大小均匀。系统像差在各个波长上都接近或达到衍射极限,具有精确的光学扫描特性。

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来源
《红外与激光工程》 |2006年第3期|351-353358|共3页
作者
吴环宝; 王肇圻; 傅汝廉; 刘娟; 乐丹;
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作者单位

1. 南开大学现代光学研究所光电信息技术科学教育部重点实验室 2. 粤铭激光技术有限公司;

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正文语种 chi
中图分类光能加工设备及其加工;
关键词
光学设计; f-θ镜; 折/衍混杂; 消色差;

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