共振吸收在微桥电阻阵列中的应用

唐良瑞; 李守荣

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共振吸收在微桥电阻阵列中的应用

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红外武器系统的快速发展,对红外仿真系统提出了更高的要求。微桥电阻阵列作为红外仿真系统的核心器件,其性能的提高对红外仿真系统的发展至关重要。微桥电阻是利用电阻加热微辐射元来产生红外辐射的,根据微桥电阻的工作原理可知,提高微桥电阻阵列单元辐射效率是微桥电阻性能提高的关键技术之一。利用以Al为反射层电阻、空气为中间介质层和TiNx为吸收层电阻组成的谐振腔结构可以明显提高所需波段的红外辐射效率,从而提高微桥电阻的性能。共振吸收结构为微桥电阻阵列的进一步低功耗、大面阵化提供了有效的设计和制作途径。

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来源
《红外与激光技术》 |2006年第1期|35-38|共4页
作者
唐良瑞; 李守荣;
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作者单位

华北电力大学信息工程系;

华北电力大学信息工程系北京102206;

北京102206;

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正文语种 chi
中图分类红外光学器件;
关键词
共振吸收; 微桥电阻阵列; 红外景象产生器;

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