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实时红外光学传感器

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采用不可见光光学传感器的自动传感装置正在被越来越多地结合到工业和制造设施中。本专利说明书图1所示的架空式红外传感运送装置就是一个典型的例子，这种运送装置装在一个自动净化室半导体晶片设施中用于运送半导体晶片。每个运送装置中均装有能投射三维光束的红外传感器，这些红外传感器主要用于正在移动的运送装置的安全保护和导航。

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来源
《红外》 |2005年第3期|39|共1页
作者
高编;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
实时; 光学传感器; 红外传感器; 传感装置; 移动; 导航; 安全保护; 运送; 投射; 设施;

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