高空间分辨率红外椭圆计

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本发明提供一种高空间分辨率红外椭圆计，该椭圆计由红外光源(S)、样品支架(PE)、传感器(D)、两个光学系统以及遮光器(F1，F2)等组成．第一个光学系统装在光源(S)和样品支架(PE)之间，它可以使光照射在位于样品支架上的样品上，第二个光学系统位于样品支架和传感器(D)之间，它是用来会聚由样品反射的光的，第二个光学系统的光路中也装有一个遮光器(F2)，

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来源
《红外》 |2005年第3期|48|共1页
作者
高编;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类物理光学仪器;
关键词
空间分辨率; 红外椭圆计; 传感器; 遮光器; 光学系统;

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