氟镓酸盐红外玻璃窗口多波段增透保护膜研制

邵淑英; 郭猛; 易葵; 姜雄伟; 邵建达

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氟镓酸盐红外玻璃窗口多波段增透保护膜研制

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cqvip:氟镓酸盐玻璃是一种性能良好的红外光窗材料。为了提升窗口观测、探测及防护性能,在氟镓酸盐基底上设计和制备了0.4~0.9 μm、1.064 μm、3.7~4.8 μm三波段复合增透保护膜。根据光学性能及环境稳定性要求选择薄膜材料并对膜系进行了设计,然后利用电子束蒸发方法对多层膜进行了制备。测量结果表明,2.9 μm处的水吸收峰拉低了中红外波段的透过率。通过改进工艺及后处理等途径提高了膜层致密度,有效抑制了膜层的水吸收。利用沸水浸泡法对镀膜元件的环境稳定性进行了实验验证。结果表明,经过离子束辅助沉积及退火处理的薄膜样品具有较好的光学性能和环境适应性。

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来源
《红外》 |2020年第1期|1-6|共6页
作者
邵淑英; 郭猛; 易葵; 姜雄伟; 邵建达;
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作者单位

中国科学院上海光学精密机械研究所上海201800;

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正文语种 chi
中图分类红外系统装置;
关键词
氟镓酸盐玻璃; 红外窗口; 三波段; 增透保护膜;

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