衬底热导对Mn-Co-Ni-O薄膜热敏红外探测器性能的影响

张飞

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衬底热导对Mn-Co-Ni-O薄膜热敏红外探测器性能的影响

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研究了用Mn-Co-Ni-O薄膜材料制备的热敏红外探测器件,并主要通过调控衬底热导改进了器件性能.对于较薄的探测元,研究了具有微桥结构的红外器件.结果表明,该器件的响应率比非微桥器件高80％左右,探测率高44％左右.这主要是因为其独特的结构形式降低了器件热导,且对光的全反射效应提高了探测元对光的吸收率.对于较厚的探测元,在衬底上增加了抛光的散热铜片,使器件衬底的导热系数提高了47％左右,但响应电压降低了50％左右.因此需要合理选择散热铜片,以获得合适的时间常数和响应率.

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来源
《红外》 |2020年第9期|25-30|共6页
作者
张飞;
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作者单位

上海海事大学海洋科学与工程学院上海201306;

上海海事大学上海深远海洋装备材料工程技术研究中心上海201306;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类红外探测、红外探测器;
关键词
Mn-Co-Ni-O薄膜; 红外探测器; 微桥; 导热系数; 响应率;

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