氮化钽薄膜换能元微秒量级瞬态响应温度研究

阚文星; 刘卫; 任小明; 解瑞珍; 刘兰; 褚恩义; 任炜

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为研究氮化钽薄膜换能元在不同激励条件下的温度响应特性,利用瞬态光学高温计,分别在恒定电压激励和电容激励下对不同结构尺寸的氮化钽薄膜换能元进行瞬态响应温度测试。结果表明:相同尺寸时,在电容激励下换能元可在几十微秒内达到最高温度,而在恒压激励下需要100多微秒;在电容激励下,随着换能元长度的增加,换能元的最高温度以幂函数的形式不断减小,且与仿真结果的总体变化趋势一致;在恒压激励下,随着激励电压的增加,换能元的最高温度呈线性关系增加,在高电压激励下,换能元的发热持续时间较短。本研究为对换能元的结构尺寸设计与激励条件的选择提供参考。

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来源
《火工品》 |2022年第1期|24-28|共5页
作者
阚文星; 刘卫; 任小明; 解瑞珍; 刘兰; 褚恩义; 任炜;
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作者单位

陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类结构;
关键词
换能元; 氮化钽; 含能薄膜; 温度响应; 结构尺寸;

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