新型宽温区压力传感器技术

段磊

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为研制新型耐高温和耐低温压力传感器,提出了一种基于SOS(蓝宝石上硅)技术制造的压力传感器.所述硅-蓝宝石压力传感器采用先封装再刻制应变电阻的新工艺,制成的应变电阻和补偿用热电阻精度高、质量好,且在整个工艺流程中不使用化学药品,对环境无污染.制成的硅-蓝宝石压力传感器,可以测量在-55～+400 ℃宽温区范围内的流体压力,并可以同时测量温度.给出了该传感器的试验数据,得到了比较满意的结果.

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来源
《仪表技术与传感器》 |2009年第12期|17-18|共2页
作者
段磊;
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作者单位

上海交通大学船舶海洋与建筑工程学院,上海,200030;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
宽温区; 压力传感器; 蓝宝石上硅技术;

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