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耐高压电涡流式位移传感器的设计和优化

         

摘要

电涡流传感器是一种非接触式高分辨率位移传感器。本文介绍的耐高压电涡流式位移传感器可以作为阀芯位置测量元件应用于液压系统中的电流比例阀和电液伺服阀,

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