一种硅基MEMS电离式气体传感器

著录项

• 来源
  《仪表技术与传感器》 |2018年第12期|1-413|共5页
• 作者

  董续盛; 王孜; 王艳芳; 朱文欢; 刘海; 刘越; 侯中宇;

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• 作者单位

  上海交通大学电子信息与电气工程学院;

  上海 200240;

  上海交通大学电子信息与电气工程学院;

  上海 200240;

  上海交通大学电子信息与电气工程学院;

  上海 200240;

  上海交通大学电子信息与电气工程学院;

  上海 200240;

  上海交通大学电子信息与电气工程学院;

  上海 200240;

  上海交通大学电子信息与电气工程学院;

  上海 200240;

  上海交通大学电子信息与电气工程学院;

  上海 200240;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 TP212;
• 关键词

  电离式气体传感器; MEMS; 气体放电; 纳米结构;