谐振式微加速度计静电刚度应用分析及实验

刘恒; 舒进华; 张玉; 杨添熠

首页> 中文期刊> 《仪表技术与传感器》 >谐振式微加速度计静电刚度应用分析及实验

谐振式微加速度计静电刚度应用分析及实验

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

静电负刚度能够调谐微机械振梁的谐振频率,但静电负刚度过大会带来谐振梁的稳定性和可靠性问题.文中介绍了静电负刚度效应在谐振加速度计中的应用,并在刚度和质量比约束条件下,推导出输出谐振频率与加载直流检测电压的非线性关系,分析传感器灵敏度、量程与直流检测电压的非线性耦合关系.流片微结构并封装开环测试表明,不同的直流检测电压对应谐振频率存在非线性静电负刚度效应,在加速度为-1g、0g、1g 3种条件下,谐振频率非线性减小,灵敏度和量程关于检测电压交叉耦合,大的检测电压和加速度会导致微机构不稳定和失效.

著录项

来源
《仪表技术与传感器》 |2021年第10期|10-15|共6页
作者
刘恒; 舒进华; 张玉; 杨添熠;
展开▼
作者单位

南京信息工程大学电子与信息工程学院江苏南京 210044;

南京信息工程大学电子与信息工程学院江苏南京 210044;

南京信息工程大学电子与信息工程学院江苏南京 210044;

南京信息工程大学电子与信息工程学院江苏南京 210044;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类通信理论;
关键词
加速度计; 静电刚度; 灵敏度; 量程; 检测电压;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 静电刚度谐振式微加速度计及其接口电路分析 [J] . 刘恒 ,刘清惓 ,孟瑞丽 . 传感技术学报 . 2011,第011期
2. 一种谐振式微加速度计表芯非线性动力学分析及实验 [J] . 刘恒 ,刘清惓 ,孟瑞丽 . 中国惯性技术学报 . 2012,第004期
3. 静电刚度式谐振微加速度计闭环驱动控制 [J] . 刘恒 ,何晓平 ,张凤田 . 控制理论与应用 . 2011,第010期
4. 基于误差灵敏度的静电刚度式谐振微加速度计频率鲁棒性设计 [J] . 周吴 ,何晓平 ,苏伟 . 机械工程学报 . 2010,第10期
5. 静电刚度式谐振微加速度计设计 [J] . 周吴 ,何晓平 ,苏伟 . 传感器与微系统 . 2009,第006期
6. 基于静电刚度的谐振式微加速度计闭环锁相驱动 [C] . 刘恒 ,苏伟 ,何晓平 . 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会 . 2009
7. 静电刚度谐振式微加速度计相关技术研究 [A] . 刘恒 . 2011

谐振式微加速度计静电刚度应用分析及实验

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅