石墨烯谐振式压力传感器的研究进展

李子昂; 毛亚民; 李成

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石墨烯谐振式压力传感器的研究进展

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石墨烯是一种只有单原子层厚度的新材料,具有良好的导电性、导热性和力学性能,被广泛应用于诸多领域,由于石墨烯对气体的不透过性,被用于谐振式压力传感器的敏感元件。文中对石墨烯的特性进行了介绍,描述了目前石墨烯常用的制备和转移方式。阐述了谐振器常用的激励和检测方式,重点从理论仿真研究和实验研究方面详细介绍了国内外学者对于石墨烯谐振式压力传感器的研究成果。不同研究小组制做的石墨烯谐振式压力传感器的谐振频率和品质因数都有较大的差距,与理论和仿真的研究结果也相差很多,这往往受石墨烯制备和转移过程中产生的缺陷影响。目前对于石墨烯谐振式传感器的实验研究还比较匮乏,在性能的提升和加工工艺方面仍然面临着诸多的困难和挑战。

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来源
《仪表技术与传感器》 |2022年第4期|1-8|共8页
作者
李子昂; 毛亚民; 李成;
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作者单位

中国电子科技集团公司第二十九研究所;

北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院;

深圳北航新兴产业技术研究院;

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正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
石墨烯; 敏感元件; 谐振; 压力; 传感器; 品质因数;

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