掺铝氧化锌透明导电薄膜生长及光电性质研究

李宏

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采用磁控溅射在载玻片上制备掺铝氧化锌AZO透明导电薄膜,并用扫描电子显微镜观察薄膜的表面形貌,四探针电阻率测试仪测量样品的方块电阻和电阻率,分光光度计测量薄膜透射率.结果表明当功率、温度、氢气掺杂比为200 W、300℃、8％时,制备的AZO薄膜具有最小的方块电阻和电阻率,且在可见光区域内透射率均超过80％.

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来源
《吉林师范大学学报（自然科学版）》 |2014年第1期|11-13|共3页
作者
李宏;
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作者单位

淮北师范大学物理与电子信息学院,安徽淮北235000;

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正文语种 chi
中图分类 O031;
关键词
AZO薄膜; 磁控溅射; 光电性质; 透射率; 电阻率;

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