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Pt原子百分含量对FePt合金薄膜结构的影响

         

摘要

采用直流磁控溅射在SiO2〈0001〉基片上制备了不同Pt原子百分含量的FePt合金薄膜,薄膜样品经过650 ℃热处理1 h,得到了L10有序结构.利用X射线衍射对样品的结构进行了分析,结果表明Pt原子百分含量对形成L10有序结构有明显的影响.

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