用于精密微驱动的微执行器研究

机译：线性电动机和冲击驱动机构组成的组合执行器的大行程微/纳米精密定位

机译：用于脆性材料超精密研磨的微进给执行器

机译：从基础中学到的精密微模具加工和外围技术：11 nm精密大面积精密微模具加工和应用研究

机译：具有感应位置感应的电磁线性执行器，用于微继电器，微阀和精密定位应用

机译：基于微滴的电润湿微驱动，用于数字微流控。

机译：用于精密小体积样品处理的微流控平台及其在声学微装置中用于分离生物颗粒尺寸的用途

机译：用于分析系统的流体执行器的仪表和控制：作为注射器的精密微凸块的调节系统

机译：概念验证研究：用于原位修复被1,4-二恶烷，四氯乙烯（pCE）和三氯乙烯（TCE）污染的地下水的新型微驱动Fenton反应。

机译：静电微执行器，静电微执行器装置以及静电微执行器的驱动方法

机译：电气绝缘的移动部分和具有组合驱动电路的静电型微执行器，尤其考虑到静电型微执行器的功能，即在磁记录磁盘驱动器中的二次读/写执行器

机译：磁盘驱动器驱动第一磁头微执行器，同时感测第二磁头微执行器的信号