脉冲源所镀DLC膜成份的分析

弥谦; 蔡长龙

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类金刚石薄膜(DLC膜)的成份(主要指sp3键和sp2键)是影响薄膜性能如薄膜的机械特性和电阻特性等的重要因素.因此,研究DLC膜的成份是非常必要的.本文介绍用X射线光电子能谱仪(XPS)测量薄膜成份的方法.通过采用脉冲真空电弧离子源研究在各种工艺条件下镀制的DLC膜,发现了影响DLC膜成份的主要因素.

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来源
《应用光学》 |2003年第5期|44-46|共3页
作者
弥谦; 蔡长龙;
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作者单位

西安工业学院;

光电工程学院;

西安;

710032;

西安工业学院;

光电工程学院;

西安;

710032;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 O484.4-34;
关键词
脉冲电弧; DLC膜; 薄膜成份;

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