类金刚石薄膜及其进展

苏俊宏; 葛锦蔓; 徐均琪; 吴慎将; 陈磊

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类金刚石薄膜及其进展

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为了使研究者能更详细地了解类金刚石(DLC)薄膜的研究现状,综述了类金刚石薄膜的特性及应用,分析对比了目前常用的一些类金刚石薄膜的制备方法,包括物理气相沉积法(PVD)和化学气相沉积法(CVD),并对类金刚石薄膜的抗强激光损伤特性以及提高其激光损伤阈值的方法进行了论述.结果发现,利用PVD法制备的DLC膜的硬度可以达到40 GPa～80 GPa,且薄膜的残余应力可以达到0.9 GPa～2.2 GPa之间,而CVD法则由于反应气体的充入导致类DLC薄膜的沉积速率大大降低,故使用率不高.同时,优化膜系的电场强度设计,采用合理的制备工艺,进行激光辐照后处理,施加外界电场干预均可有效地提高DLC薄膜的抗激光损伤能力,且目前的DLC薄膜的激光损伤阈值可达到2.4 J/cm2.

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来源
《应用光学》 |2015年第5期|799-806|共8页
作者
苏俊宏; 葛锦蔓; 徐均琪; 吴慎将; 陈磊;
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作者单位

西安工业大学光电工程学院;

陕西西安710032;

南京理工大学电子工程与光电技术学院;

江苏南京210094;

西安工业大学光电工程学院;

陕西西安710032;

南京理工大学电子工程与光电技术学院;

江苏南京210094;

西安工业大学光电工程学院;

陕西西安710032;

西安工业大学光电工程学院;

陕西西安710032;

南京理工大学电子工程与光电技术学院;

江苏南京210094;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
薄膜; 类金刚石; 制备工艺; 激光损伤;

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