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一种采用干涉仪测量光电稳瞄系统稳定精度的方法研究

         

摘要

为了满足未来高精度光电稳瞄系统μrad级稳定精度的测试需求,提出一种基于干涉仪测量的稳定精度测试方法.基于泰曼格林干涉仪中同源两光束光程差对干涉条纹的影响,利用CCD观察干涉条纹的微小变化,实现稳定精度测试.采用该测试方法对快速转向镜(fast steer ing mirror,FSM)的指向精度和某型光电稳瞄产品稳定精度进行了测试研究,结果表明,该方法对稳定精度的测量精度可以达到0.2 μrad.

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