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微细笔直写聚合物条形光波导的研究

         

摘要

提出一种采用微细笔直写技术直写聚合物光波导的简便方法,利用该技术成功直写出了氟化聚酰胺条形光波导,并着重研究了气体压力和直写速度对波导宽度的影响规律.实验结果表明:直写获得的条形波导的边缘整齐、表面光滑,而且不存在小孔等缺陷或杂质.当其他工艺参数不变的情况下,波导宽度随着气体压力的增加而增大,随着直写速度的增大而减小.微细笔直写获得的条形光波导成功地实现了通光,在波长为1 550 nm处的最小传输损耗为0.59 dB/cm.

著录项

  • 来源
    《应用光学》 |2007年第2期|236-239|共4页
  • 作者单位

    华中科技大学;

    光电子科学与工程学院;

    武汉光电国家实验室;

    武汉;

    430074;

    华中科技大学;

    光电子科学与工程学院;

    武汉光电国家实验室;

    武汉;

    430074;

    华中科技大学;

    光电子科学与工程学院;

    武汉光电国家实验室;

    武汉;

    430074;

    华中科技大学;

    光电子科学与工程学院;

    武汉光电国家实验室;

    武汉;

    430074;

    华中科技大学;

    光电子科学与工程学院;

    武汉光电国家实验室;

    武汉;

    430074;

    华中科技大学;

    光电子科学与工程学院;

    武汉光电国家实验室;

    武汉;

    430074;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 光电子技术、激光技术;
  • 关键词

    集成光学; 聚合物光波导; 直写技术; 微细笔;

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