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用于微观场小应变测量的云纹干涉载波条纹法

         

摘要

在云纹干涉法的基础上,研究了一种新的测量方法--云纹干涉载波条纹法,利用初始载波条纹根据物体变形前后的变化对应变进行分析.实验证明:在结合适当的数字图像处理技术情况下,应用频率为1 200 lp/mm的试件栅,测量试件(微观场)变形产生的应变时,精度基本控制在±10 με的范围内.对该方法的研究表明:其灵敏度可在1 με以下.方法可给出U场诸行、V场诸列的平均应变值,使研究微观场小应变及微观场临近区域微小应变的不同成为可能.这一技术为MEMS研究中对相关力学内容的分析提供了技术支持.

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