基于白光干涉的光学球面半径测量研究

王中林; 郑丹; 孙冬丽

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基于白光干涉的光学球面半径测量研究

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光学球面曲率半径是决定光学球面光学特性的重要参量,通过测量光学球面的曲率半径,可以审核光学元件设计制造质量.在基于白光干涉理论基础上,将莫尔光栅位移测量系统及CCD数字图像采集处理系统集成到迈克尔逊干涉仪上,利用CCD数字图像处理技术,构建了光学球面曲率半径自动测量系统.该测量系统对于大曲率半径的光学球面测量精度较高;对于半径R=71.2037 mm的光学球面,其测量标准误差σR=0.472 3mm.实验结果表明:设计的光学球面自动测量系统可以对大曲率半径光学球面实现高精度测量.

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来源
《应用光学》 |2007年第6期|707-711|共5页
作者
王中林; 郑丹; 孙冬丽;
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作者单位

武汉工交职业学院;

光电系;

湖北;

武汉;

430205;

武汉工交职业学院;

光电系;

湖北;

武汉;

430205;

武汉工交职业学院;

光电系;

湖北;

武汉;

430205;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH741.4-34;
关键词
曲率半径; 白光干涉; CCD; 莫尔光栅; 图像处理;

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