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光湿敏元件及特性

         

摘要

介绍硅衬底的半导体陶瓷材料钛酸镧锶(Sr1-xLaxTiO3)光湿敏元件的工作原理及结构,MIS结构元件的光湿敏特性参数和曲线.利用光湿敏元件研制成光湿敏传感器和测量仪,智能光湿敏测量仪具有软件湿度补偿、智能判断声光报警等特性.

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