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一种基于光电极值法的光学膜厚监控系统的改进设计

         

摘要

介绍目前通用的基于光电极值法的光学膜厚监控系统的特点,针对其缺点进行改进设计,新系统的稳定性有较大提高,可满足镀制多层介质薄膜器件的要求.

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