MEMS光开关阵列的设计与应用

著录项

• 来源
  《应用光学》 |2016年第3期|452-455|共4页
• 作者

  赵磊; 王小齐; 李晶娣; 赵振海; 柳华勃; 马优恒;

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• 作者单位

  西安应用光学研究所;

  陕西;

  西安710065;

  西安应用光学研究所;

  陕西;

  西安710065;

  西安应用光学研究所;

  陕西;

  西安710065;

  西安应用光学研究所;

  陕西;

  西安710065;

  西安邮电大学理学院;

  陕西;

  西安710065;

  西安应用光学研究所;

  陕西;

  西安710065;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 设计;结构;
• 关键词

  防空导弹系统; 反应时间; MEMS光开关阵列; 双层静电梳齿结构; 气膜阻尼;