宽带膜厚实时监控过程中膜层折射率的确定方法

著录项

• 来源
  《应用光学》 |2006年第4期|336-339|共4页
• 作者

  孔英秀; 韩军; 尚小燕;

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• 作者单位

  西安工业学院;

  光电工程学院;

  西安;

  710032;

  西安工业学院;

  光电工程学院;

  西安;

  710032;

  西安工业学院;

  光电工程学院;

  西安;

  710032;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 物理学;
• 关键词

  膜层折射率; 膜厚监控; 最小二乘法; 薄膜镀制;