沉积参数对碳氮化硅薄膜化学结构及光学性能的影响

著录项

• 来源
  《应用光学》 |2006年第4期|274-280|共7页
• 作者

  朴勇; 梁宏军; 高鹏; 丁万昱; 陆文琪; 马腾才; 徐军;

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• 作者单位

  大连理工大学;

  三束材料改性国家重点实验室;

  大连;

  116024;

  西安通信学院;

  数理教研室;

  西安;

  710106;

  大连理工大学;

  三束材料改性国家重点实验室;

  大连;

  116024;

  大连理工大学;

  三束材料改性国家重点实验室;

  大连;

  116024;

  大连理工大学;

  三束材料改性国家重点实验室;

  大连;

  116024;

  大连理工大学;

  三束材料改性国家重点实验室;

  大连;

  116024;

  大连理工大学;

  三束材料改性国家重点实验室;

  大连;

  116024;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 物理学;
• 关键词

  SiCN薄膜; 微波ECR等离子体; 沉积参数; 光学带隙;