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二代微通道板(MCP)放气成份质谱分析

         

摘要

模拟二代微光管制管工艺,对MCP经不同工艺处理后的放气成份进行分析,发现工艺质量本身是造成MCP污染的主要因素.经改进工艺,提高了制管成品率和管子性能.

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