介绍一种用全息实时干涉技术测量直线度的系统

祝德顺; 杜隆安

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＜正＞ 1.引论利用全息实时干涉技术测量直线度的新方法已取得新的进展。其原理方法是一个工作台置于导轨上并沿其移动,当工作台位移时就有很多等倾干涉条纹产生。依据这些干涉条纹的形状和数量即可作定性、定量的测量。这个系统的优点是,在垂直移动路程的平面内进行测量,而当作横向位移时,二维方向（水平和垂直方向）的直线度也同时能够

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来源
《应用光学》 |1987年第1期|49-50|共2页
作者
祝德顺; 杜隆安;
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