基于波像差判据的同步相移显微干涉检焦方法

著录项

• 来源
  《应用光学》 |2021年第4期|703-708|共6页
• 作者

  胡乔伟; 高志山; 袁群; 黄旭; 孙一峰; 王灵杰; 张建萍;

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• 作者单位

  南京理工大学 电子工程与光电技术学院 江苏 南京 210094;

  南京理工大学 电子工程与光电技术学院 江苏 南京 210094;

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  南京理工大学 电子工程与光电技术学院 江苏 南京 210094;

  南京理工大学 电子工程与光电技术学院 江苏 南京 210094;

  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学系统先进制造技术重点实验室 吉林 长春 130033;

  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学系统先进制造技术重点实验室 吉林 长春 130033;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 测试、调整及其设备;
• 关键词

  实时检测; 同步相移; 显微干涉; 波像差; 离焦量;