快速高精度电动调整镜研究

邢海斌; 刘力双; 夏润秋; 陈青山; 吕勇

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快速高精度电动调整镜研究

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高能激光合束系统中反射镜在工作前需要进行快速高精度的指向调整.设计了一种二维电控调整镜,系统主体采用一体化的柔性支撑设计,驱动采用步进电机配合减速机构带动螺杆实现,反射镜偏转角度的精密测量采用电涡流传感器,使用数字信号处理器(DSP)作为主控模块.对系统的工作原理和设计进行了分析,对系统标定方法和控制算法进行了深入研究.为了满足系统调整速度的要求,采用S形加减速算法作为调整镜的控制算法,采用分段线性的系统标定方法.最后对系统进行了实验测试,结果表明,在±500″角度范围内,调整镜到位时间在3 s以内,控制误差小于2″,可以满足系统要求.

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来源
《应用光学》 |2021年第6期|949-955|共7页
作者
邢海斌; 刘力双; 夏润秋; 陈青山; 吕勇;
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作者单位

北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院北京 100192;

北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院北京 100192;

北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院北京 100192;

北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院北京 100192;

北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院北京 100192;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类激光的应用;长度计量仪器;
关键词
调整镜; S形加减速; 系统标定; 柔性支撑;

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