用于同步辐射的压电变形镜控制策略数值模拟

王梓齐; 樊凯; 张军剑; 冯志华

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用于同步辐射的压电变形镜控制策略数值模拟

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为了提高同步辐射中压电变形镜的控制自由度和面形精度,解决压电致动单元数量过多引起的解算电压受噪声影响异常波动(过拟合)问题,建立了变形镜模型并进行仿真控制。通过有限元仿真获得36组压电响应方程,构建面形与电压的数学模型;为补偿重力造成的镜面畸变,以获得的椭圆面形分析并比较了使用最小二乘法和Tikhonov正则化两种电压解算方案的控制效果。结果表明:采用Tikhonov正则化算法反演后,面形控制误差相比最小二乘法降低了21.7%,相邻极板间电压波动极大值从1.019 kV下降为0.174 kV,反演结果符合工程实际要求;系统对测试噪声具有鲁棒性,相比最小二乘法有更加优越的应用价值。

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来源
《应用光学》 |2022年第1期|23-29|共7页
作者
王梓齐; 樊凯; 张军剑; 冯志华;
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作者单位

中国科学技术大学精密机械与精密仪器系;

中国科学技术大学精密科学仪器安徽普通高校重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类物理光学仪器;应用;
关键词
同步辐射光学仪器; 压电变形镜; 正则化算法; TIKHONOV正则化; 反问题求解;

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