大口径平面镜快速瑞奇-康芒测量法研究

刘昕; 王聪; 刘永强; 袁阳; 陈晓磊; 张瑜; 韩娟妮; 张超凡

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大口径平面镜快速瑞奇-康芒测量法研究

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瑞奇-康芒法是用小口径干涉仪检测大口径平面镜的主要方法之一。通过分析瑞奇-康芒法中球面参考镜半径、平面镜位置和瑞奇角误差对测量精度的影响,给出了3个参数的选择方法。针对瑞奇-康芒法测量时误差分离导致的测量效率低的问题,提出适用于加工过程的快速瑞奇-康芒测量法,仿真模拟该方法下被测平面镜位置、角度等定位误差对测量结果的影响,并设计实验对比验证。该方法与直测法测量间的最大偏差峰-谷值(PV)为0.0151μm,均方根(RMS)为0.0036μm,能够有效满足加工过程中面形快速测量需求。

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来源
《应用光学》 |2022年第4期|707-713|共7页
作者
刘昕; 王聪; 刘永强; 袁阳; 陈晓磊; 张瑜; 韩娟妮; 张超凡;
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作者单位

西安应用光学研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光学计量仪器;
关键词
光学测量; 大口径平面镜; 快速检测; 瑞奇-康芒;

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