基于静态累积法的极小气体流量测量研究

冯天佑; 成永军; 陈联; 赵澜; 孙冬花; 张瑞年

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基于静态累积法的极小气体流量测量研究

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通过静态膨胀法与固定流导法获得了(10-9～10-14)Pam3/s的氦标准气体流量,并采用静态累积法对所产生的极小气体流量进行了测量,相应的氦离子流上升率在(10-10～10-15)A/s范围.实验结果表明:气体流量静态累积时的离子流波动随流量降低逐渐增大,降至1.69×10-14 Pam3/s时,多个数据点已偏离上升率拟合线较远,此时达到测量下限.在(10-9～7.66×10-12)Pam3/s范围,气体流量与对应离子流上升率有很好的线性,最大偏差为6.8％;当气体流量小于7.66×10-12 Pam3/s时,标准流量与离子流上升率的对应关系呈现出明显的非线性.

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来源
《宇航计测技术》 |2021年第1期|43-47|共5页
作者
冯天佑; 成永军; 陈联; 赵澜; 孙冬花; 张瑞年;
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作者单位

兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室甘肃兰州730000;

兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室甘肃兰州730000;

兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室甘肃兰州730000;

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兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室甘肃兰州730000;

兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室甘肃兰州730000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类真空测试技术;
关键词
极小气体流量; 静态累积法; 测量下限; 非线性现象;

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