欧洲计量研究计划对中国微电子计量技术发展的借鉴

李雷; 张慧; 张红; 沙长涛

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欧洲计量研究计划对中国微电子计量技术发展的借鉴

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微电子技术作为一种新兴的技术,是当今世界电子信息产业的核心之一.随着微电子技术的迅猛发展,对我国微电子计量技术发展提出了更高要求.欧盟自2009年起,开始了针对纳米、通信、先进制造等领域的计量研究计划(EMRP),以保证欧盟在政治、经济上的先进性.在信息时代高速发展的背景下,跟踪和研究欧洲计量研究计划中与微电子计量相关的研究,借鉴欧盟先进的微电子计量建设经验,对中国微电子计量技术跨越式发展有重要的研究意义.

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来源
《宇航计测技术》 |2021年第5期|92-96|共5页
作者
李雷; 张慧; 张红; 沙长涛;
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作者单位

中国电子技术标准化研究院北京100176;

中国电子技术标准化研究院北京100176;

中国电子技术标准化研究院北京100176;

中国电子技术标准化研究院北京100176;

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正文语种 chi
中图分类 TN98;
关键词
计量; 微电子; 欧洲计量研究计划;

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