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团簇演积纳米结构薄膜的计算机模拟

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摘要

对团簇的沉积方式作了简介。着重对团簇的淀积过程进行了计算机模拟，从中得出了淀积的尺寸分布与团簇在衬底上的徒动长度有关，而团簇的聚合长大存在一临界尺寸。并给出低能Ｐｂ团簇在碳膜表面的徒动长度和聚事的临界尺寸。

著录项

来源
《原子与分子物理学报》 |1999年第1期|84-88|共5页
作者
王朝晔; 陈平平;
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作者单位

固体微结构物理国家重点实验室;

固体微结构物理国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
团簇; 纳米结构; 计算机模拟; 薄膜沉积;

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