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柔性铰链放大器的设计与加工技术

         

摘要

为弥补压电陶瓷微位移器件伸长量过小的缺陷,设计了一种结构紧凑、无传动间隙、无附加位移耦合的柔性铰链微位移放大器,以满足大行程纳米定位的需要. 详细讨论了柔性铰链放大器的工作原理、设计方法和加工技术关键.

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