CVD纳米金刚石@碳化硅复合粉末导热填料制备工艺研究

关春龙; 秦越; 易剑; 虞锦洪; 江南

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CVD纳米金刚石@碳化硅复合粉末导热填料制备工艺研究

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通过改变甲烷浓度、热丝功率、热丝丝距以及沉积时间等参数,利用热丝化学气相沉积(HFCVD)工艺,在β-碳化硅(β-SiC)粉末上沉积了一层纳米金刚石(ND)涂层,制备了ND@SiC复合粉末导热填料,并利用扫描电子显微镜、拉曼光谱、透射电子显微镜以及热重分析等,对所得填料进行了表征.结果表明,SiC粉末表面涂覆了一层纳米金刚石涂层,形成了ND@SiC结构;当沉积参数为甲烷浓度5％、热丝功率4×1000 W、热丝丝距8 mm,沉积时间2×3 h时,制备的ND@SiC复合粉末具有理想的显微结构,复合粉末中金刚石的含量占粉体总重量的9.31％.

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来源
《陶瓷学报》 |2020年第3期|377-383|共7页
作者
关春龙; 秦越; 易剑; 虞锦洪; 江南;
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作者单位

河南工业大学材料科学与工程学院河南郑州450007;

河南工业大学材料科学与工程学院河南郑州450007;

中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江宁波315201;

中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江宁波315201;

中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江宁波315201;

中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江宁波315201;

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正文语种 chi
中图分类工业用陶瓷;
关键词
纳米金刚石; 碳化硅; 热丝化学气相沉积; 导热填料;

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