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正交设计法优化合成Ti_(4)AlN_(3)工艺研究

         

摘要

以Ti、Al和TiN粉末为原料,采用正交设计法对真空热压合成Ti_(4)AlN_(3)的工艺参数进行优化,考察目标为Ti_(4)AlN_(3)的质量分数。采用L_(25)(5^(5))正交试验合成Ti_(4)AlN_(3),以烧结温度、施压强度、保温时间、Al含量、TiN含量作为5个因素。利用X射线衍射仪(XRD)对烧结试样进行定性与定量分析。结果表明:最佳合成工艺条件为烧结温度为1400℃、施压强度为30 MPa、保温时间为2 h、Al含量为23.1 at.%和TiN含量为55.1 at.%。在此条件下,Ti_(4)AlN_(3)的质量分数最高为98.03 wt.%。

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